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　　防靜電檢測(cè)儀器主要有：簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀、兆歐表、靜電場(chǎng)測(cè)試儀、離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測(cè)試儀、屏蔽殘余電壓測(cè)試儀、腕帶測(cè)試儀、人體綜合電阻測(cè)試儀、腕帶測(cè)試儀和人體綜合電阻測(cè)試儀的校準(zhǔn)儀。 
　　手持式簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀
　　簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀，測(cè)試量程為103~1012  Ω，適用于測(cè)試平面材料，通過(guò)測(cè)試結(jié)果可以分辨被測(cè)材料為導(dǎo)體類、靜電耗散類和絕緣類。
　由于靜電耗散材料的表面電阻為1×104Ω ≤Rs＜1×1011Ω，因此測(cè)試儀面板指示的1011  Ω檔（面板的黑色圓圈處）修正為絕緣材料，不是靜電耗散材料。
　　簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀配有一根接地線，把接地線的香蕉插頭插入儀器表面的接地孔，另一度端的鱷魚(yú)夾夾在接地母線上，把表面電阻測(cè)試儀平壓在防靜電臺(tái)墊上，可以測(cè)試臺(tái)墊的接地電阻。
　　靜電場(chǎng)測(cè)試儀
　　靜電場(chǎng)測(cè)試儀有兩種型號(hào)，普通型ESD42721，高精度型MODEL 520，采用非接觸型的電場(chǎng)感應(yīng)測(cè)試方式。兩個(gè)儀器都配有一根接地線，靜電電壓測(cè)試時(shí)接地線接地可以提高測(cè)量的準(zhǔn)確性。 
　　ESD42721的測(cè)試量程＜20KV，精確度為10V，適于測(cè)試較大的平面分布電場(chǎng)。
　　MODEL 520的的測(cè)試量程＜2KV，精確度為1V，適于平面和某點(diǎn)電場(chǎng)測(cè)試。